研削加工工具およびそれを用いた太陽電池の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島泰甫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-304894
公開番号（公開出願番号）：特開2000-126934
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】半導体基板の表面に、複数の微細な凹凸を一度に、かつ高精度に形成できる研削加工工具を提供する。【解決手段】メタルボンド砥石10の外周面に、放電加工により一定のピッチで複数の突条12を形成する。突条12は、先端12aに向かって細くなるように成形する。このメタルボンド砥石10を用いて、半導体基板1の表面を研削加工し、基板1表面に微細な凹凸3を一度に複数形成する。

請求項（抜粋）：

メタルボンド砥石の外周面に、一定のピッチで複数の突条が形成され、該突条は先端に向かって細くなる形状とされたことを特徴とする研削加工工具。

IPC (4件)：

B23H 7/02 , B24D 3/06 , B24D 5/00 , H01L 31/04

FI (4件)：

B23H 7/02 K , B24D 3/06 Z , B24D 5/00 P , H01L 31/04 H

Fターム (25件)：

3C059AA01 , 3C059AB05 , 3C059BA28 , 3C059CB04 , 3C059DA06 , 3C059FB02 , 3C059FB03 , 3C059FB04 , 3C059FD05 , 3C059GA02 , 3C059GA03 , 3C059GB05 , 3C059HA08 , 3C059JA02 , 3C059JA04 , 3C063AA02 , 3C063AB02 , 3C063AB03 , 3C063AB10 , 3C063BA24 , 3C063BB07 , 3C063BC02 , 3C063EE15 , 5F051GA04 , 5F051GA14

引用特許：

審査官引用 (5件)

太陽電池およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-303003 出願人：シャープ株式会社
特開平1-216776
特開昭61-004666

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