半導体試験装置の電源供給装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-175774
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004711
出願日： 1999年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】デバイス試験に使用されないテスタチャンネルへの電源供給を随時停止可能とする半導体試験装置の電源供給装置を提供する。【解決手段】複数個の被試験デバイスを同時試験可能なテスタチャンネルを備える半導体試験装置の電源供給装置において、デバイス試験実施の時点で実用に供するテスタチャンネルを現用テスタチャンネルとし、実用されないテスタチャンネルを休止テスタチャンネルとしたとき、休止テスタチャンネルの全て若しくは一部のテスタチャンネルへ供給する直流電源の供給を停止する手段を備えて装置全体の消費電力を低減する半導体試験装置の電源供給装置。

請求項（抜粋）：

複数個の被試験デバイス(DUT)を同時試験可能なテスタチャンネル、あるいはDUTのICピン数の多様性に対応して多数のテスタチャンネルを備える半導体試験装置の電源供給装置において、デバイス試験実施の時点で該DUTに必要とされるテスタチャンネルを現用テスタチャンネルとし、実用されないテスタチャンネルを休止テスタチャンネルとしたとき、休止テスタチャンネルの全てあるいは大部分若しくは一部分のテスタチャンネルへ供給する直流電源の供給を随時停止可能とする手段を備えて、装置全体の消費電力を低減することを特徴とする半導体試験装置の電源供給装置。

FI (2件)：

G01R 31/28 H , G01R 31/28 Y

Fターム (3件)：

2G032AA00 , 2G032AE14 , 2G032AL11

引用特許：

審査官引用 (2件)

IC試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-257169 出願人：安藤電気株式会社
電源の給電回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-181881 出願人：株式会社アドバンテスト

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