特許

J-GLOBAL ID：200903000320972502

光導波路の製造方法および光導波路

発明者： 藤原 誠 ,  長木 浩司 ,  森 哲也 ,  大竹 有美子
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-281150
公開番号（公開出願番号）：特開2005-128513
出願日： 2004年09月28日
公開日（公表日）： 2005年05月19日
要約：

【課題】 本発明の目的は、生産性に優れ、かつ光損失の小さい光導波路を提供できる光導波路の製造方法および光導波路を提供すること。【解決手段】 本発明の光導波路の製造方法は、ノルボルネン系樹脂を含む樹脂組成物で構成される樹脂膜に電子線を照射して光導波路を形成する工程を有する光導波路の製造方法であって、前記ノルボルネン系樹脂は、電子線の照射により構造変化する側鎖を有する。また、本発明の光導波路の製造方法は、ノルボルネン系樹脂を含む樹脂組成物で構成される樹脂膜に電子線を所定のパターンに照射して、前記樹脂膜の照射部を架橋させ前記照射部と未照射部との屈折率差を設けることにより光導波路を形成する工程を有する光導波路の製造方法であって、前記ノルボルネン系樹脂は、電子線の照射により架橋反応する側鎖を有する。また、本発明の光導波路は、上記に記載の光導波路の製造方法によって得られる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ノルボルネン系樹脂を含む樹脂組成物で構成される樹脂膜に電子線を照射して光導波路を形成する工程を有する光導波路の製造方法であって、 前記ノルボルネン系樹脂は、電子線の照射により構造変化する側鎖を有することを特徴とする光導波路の製造方法。

IPC (2件)：

G02B6/13 ,  G02B6/122

FI (2件)：

G02B6/12 M ,  G02B6/12 A

Fターム (5件)：

2H047PA22 ,  2H047PA26 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047TA36

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ポリイミド光導波路の作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-352859   出願人：日本電信電話株式会社