特許
J-GLOBAL ID：200903000333684727
格子構造の検査装置および格子構造の検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人プロスペック特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-072818
公開番号（公開出願番号）：特開2009-229156
出願日： 2008年03月21日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：
【課題】 個々の凹部や凸部の一部に形成されている小さな欠陥と、凹部と凸部とにまたがって形成されている格子ピッチよりも大きな欠陥とを両方一緒に検出する。【解決手段】 検査対象物OBを固定した固定治具10を回転させながら回転軸方向に移動させるとともに、検査対象物OBの微細格子構造Gにレーザ光を照射し、その反射光の強度と偏光状態とを検出する。反射光の強度が基準レベルより低下している場合には、その照射位置に、凹部と凸部とにまたがって形成されている格子ピッチよりも大きな欠陥が存在すると判断する。また、上記大きな欠陥が存在していると判断した部位を除く領域において、反射光の偏光状態が理想の偏光状態に対して許容値を超える差を生じている場合には、その照射位置に、個々の凹部や凸部の一部に形成されている小さな欠陥が存在すると判断する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面に凹部と凸部とを交互に形成した格子構造を有する検査対象物にレーザ光を対物レンズにより集光して照射し、前記照射したレーザ光の反射光または透過光に基づいて前記格子構造の状態を検査する格子構造の検査装置において、
前記レーザ光を照射する照射ヘッドに対して前記検査対象物を固定する固定治具を相対移動させることにより、前記検査対象物におけるレーザ光の照射位置を移動させるレーザ光照射位置移動手段と、
前記レーザ光照射位置移動手段により前記検査対象物におけるレーザ光の照射位置を移動させながら、前記照射したレーザ光の反射光または透過光の強度および偏光状態を検出する光検出手段と、
前記光検出手段により検出された反射光または透過光の強度に基づいて、前記格子構造における凹部と凸部とにまたがって形成されている格子ピッチよりも大きな幅の欠陥を検出する第1欠陥検出手段と、
前記光検出手段により検出された反射光または透過光の偏光状態に基づいて、前記格子構造における個々の凹部および凸部の欠陥を検出する第2欠陥検出手段と
を備えたことを特徴とする格子構造の検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2F065AA01
, 2F065AA22
, 2F065AA25
, 2F065AA49
, 2F065FF10
, 2F065FF44
, 2F065FF49
, 2F065GG04
, 2F065JJ00
, 2F065LL04
, 2F065LL41
, 2F065MM02
, 2F065NN01
, 2F065PP11
