特許
J-GLOBAL ID：200903000439065929
パターン形成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-031634
公開番号（公開出願番号）：特開2003-234063
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：
【要約】【課題】 複数のノズルを使用して、基板上に形状精度の高いパターンを形成するパターン形成装置を提供する。【解決手段】 複数の吐出口721を有するノズルブロック72、および、吐出された隔壁材料に紫外線を照射して硬化させる複数の光照射部73がノズルユニット53に設けられる。複数のノズルユニット53はX方向に交互にずれながらY方向に2列に並べられる。基板との相対的移動方向に関して後側のノズルユニット53のノズルブロック72の両端部に、前側のノズルユニット53が形成する隔壁との干渉を避けるための切欠部724を設ける。これにより、吐出口721を基板9に接近させて隔壁材料の吐出を行うことができる。また、ノズルブロック72に光照射部73側に突出する遮光部723を設けることにより、吐出口721に光照射部73からの紫外線が直接照射されることが阻止される。
請求項（抜粋）：
基板上にパターンを形成するパターン形成装置であって、パターンを形成するための所定の材料を基板に向けて吐出する吐出部と、基板の主面に沿う第1の方向へと前記吐出部を前記基板に対して相対的に移動させる移動機構と、を備え、前記吐出部が、前記第1の方向に垂直かつ前記主面に平行な第2の方向に関して所定のピッチにて配列された複数の吐出口を有する第1ブロックおよび第2ブロックを有し、前記吐出部の相対的移動方向に関して前記第1ブロックが前記第2ブロックの後側に配置されるとともに前記第1ブロックの前記第2ブロック側の吐出口と前記第2ブロックの前記第1ブロック側の吐出口とが前記第2の方向に関して前記所定のピッチだけ離れており、前記第1ブロックが、前記第2ブロックの前記第1ブロック側の吐出口から吐出された材料との干渉を避けるための凹部を有することを特徴とするパターン形成装置。
IPC (3件)：
H01J 9/02
, G03F 7/16 501
, H01J 11/02
H01J 9/02 F
, G03F 7/16 501
, H01J 11/02 B
2H025AA18
, 2H025AB14
, 2H025AB16
, 2H025AB17
, 2H025EA04
, 5C027AA09
, 5C040GF19
, 5C040JA13
