スタンパの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-202477
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033634
出願日： 1999年07月16日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】ドライエッチング装置等の特殊な設備を必要とせず、スタンパの製造に要する時間を短縮することができるスタンパ製造方法を提供する。【解決手段】スタンパ製造方法において、導電性を有する基板の一方の面にポジ型フォトレジスト層を形成し、ポジ型フォトレジスト層を予め定められたパターンに従って露光し、ポジ型フォトレジスト層を現像し露光された部分のポジ型フォトレジスト層を除去し、ポジ型フォトレジスト層が除去された部分の基板上に電鋳体を形成し、ポジ型フォトレジスト層を基板から除去するようにした。

請求項（抜粋）：

導電性を有する基板の一方の面にフォトレジスト層を形成するフォトレジスト形成工程と、前記フォトレジスト層を予め定められたパターンに従って露光する露光工程と、前記フォトレジスト層を現像する現像工程と、前記現像工程において前記フォトレジスト層が除去された部分の前記基板上に電鋳部を形成する電鋳工程と、前記フォトレジスト層を前記基板から除去する洗浄工程とを備えることを特徴とするスタンパの製造方法。

IPC (6件)：

G02B 6/00 356 , G02B 6/00 331 , B29C 59/02 , G11B 7/26 511 , G02F 1/13357 , G03F 7/40 521

FI (6件)：

G02B 6/00 356 Z , G02B 6/00 331 , B29C 59/02 B , G11B 7/26 511 , G03F 7/40 521 , G02F 1/1335 530

Fターム (32件)：

2H038AA52 , 2H091FA23Z , 2H091FB08 , 2H091FC10 , 2H091FC14 , 2H091LA12 , 2H096AA27 , 2H096BA09 , 2H096CA20 , 2H096EA02 , 2H096GA02 , 2H096HA27 , 2H096JA04 , 2H096LA02 , 4F209AH73 , 4F209AJ02 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC05 , 4F209PQ11 , 5D121BA01 , 5D121BB06 , 5D121BB34 , 5D121BB38 , 5D121CA03 , 5D121CA07 , 5D121CB03 , 5D121CB05 , 5D121CB06 , 5D121CB07 , 5D121CB08 , 5D121GG18

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-017294
特開平1-309989
特開平1-309989

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