特許
J-GLOBAL ID：200903000523917140

塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置および製造方法

発明者：
北村 義之

北村 義之 について

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関戸 俊英

関戸 俊英 について

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金森 浩充

金森 浩充 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-014538
公開番号（公開出願番号）：特開平9-206652
出願日： 1996年01月30日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：
【要約】【課題】 スリットダイが異なっても、その吐出口とガラス基板との間に所望のクリアランスを正確に確保することができる塗布装置および塗布方法並びにこれら装置および方法を使用したカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 カラーフィルタを製造するための塗布方法を実施する塗布装置は、スリットダイ40が取り付けられる昇降可能なダイホルダ32と、このダイホルダ32のレベル位置を検出するリニアスケール86と、スリットダイ40における吐出口68の両端とステージ6との間の離間距離を検出する一対の測定器76を備え、検出された離間距離とその時点でのリニアスケールの出力とに基づき、スリットダイ40の吐出口がステージ6上にあるときのダイホルダ32の参照レベルを求め、この参照レベルを基準点として吐出口68とガラス基板Aとの間に確保すべきクリアランスが設定される。
請求項（抜粋）：
塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段からの塗布液の供給を受け、一方向に延びる吐出口から塗布液を吐出可能な塗布器と、被塗布部材が載置可能なステージと、前記塗布器を前記被塗布部材に近接させる近接手段と、前記近接手段による前記塗布器の移動を介して、前記ステージに載置された被塗布部材と前記塗布器の吐出口との間に所定のクリアランスを確保するクリアランス設定手段と、前記塗布器および前記ステージのうち少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを具備する塗布装置において、前記クリアランス設定手段は、前記塗布器または該塗布器を保持するホルダの参照レベル位置を決定するセッティング手段と、前記参照レベルを基準点として前記被塗布部材の厚みおよび前記クリアランスに基づき、前記塗布器または前記ホルダの移動目標レベル位置を演算する演算手段と、前記移動目標レベル位置に前記塗布器または前記ホルダの実レベル位置を一致させるべく、前記近接手段の作動を制御する制御手段とを含むことを特徴とする塗布装置。
IPC (5件)：
B05C 5/02 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/00 ,  G02B 5/20 ,  G03F 7/16 501
FI (5件)：
B05C 5/02 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/00 D ,  G02B 5/20 ,  G03F 7/16 501
引用特許：
審査官引用 (4件)
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