細長いナノ構造体を有する波長センシティブ検出器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：石野正弘 , 稲葉和久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-203330
公開番号（公開出願番号）：特開2007-043150
出願日： 2006年07月26日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：

【課題】細長いナノ構造体、例えば、ナノワイヤに基づく波長センシティブ検出器を提供する。【解決手段】細長いナノ構造体は、共通基板に平行であると共に、少なくとも、複数の平行な細長いナノ構造体の第1ユニットと第1ユニットに組分けされる。細長いナノ構造体は、第1電極と第2電極の間に位置決めされると共に、第1電極と第2電極は、夫々、基板の平面に対して大略垂直な第1平面と第2平面内に位置することにより、同じフォトコンダクタユニット内の全ての細長いナノ構造体は、同じ2個の電極によって当接される。フォトコンダクタユニットから電気信号を読出すために、回路が追加される。細長いナノ構造体を形成する材料が異なったり、細長いナノ構造体の直径が異なるため、各ユニット内の細長いナノ構造体の状態の電子密度は異なる。従って、特定波長情報がその装置で導出できるように、細長いナノ構造体の各ユニットは、入射光子に対して異なる応答をする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に第1フォトコンダクタユニットと第2フォトコンダクタユニットを備える波長センシティブ検出器において、第1フォトコンダクタユニットの平面と第2フォトコンダクタユニットの平面が、互いに大略平行であると共に、基板の平面に対して大略垂直であり、又、各フォトコンダクタユニットは、第1長手方向及び第1長手方向に平行な第1平面内に位置する第1側壁を有する第1電極と、第2長手方向及び第2長手方向に平行な第2平面内に位置する第2側壁を有する第2電極とを備え、更に、第1フォトコンダクタユニットは、第1フォトコンダクタユニットの第1電極と第2電極の間に配置された複数の第1型の細長いナノ構造体を備え、且つ、第1型の細長いナノ構造体の各々は長手軸心を有し、又、第1型の細長いナノ構造体の長手軸心は、互いに大略平行であると共に、第1フォトコンダクタユニットの第1電極の平面と第2電極の平面に対して大略垂直である一方、第2フォトコンダクタユニットは、第2フォトコンダクタユニットの第1電極と第2電極の間に配置された複数の第2型の細長いナノ構造体を備え、且つ、第2型の細長いナノ構造体の各々は長手軸心を有し、又、第2型の細長いナノ構造体の長手軸心は、互いに大略平行であると共に、第2フォトコンダクタユニットの第1電極の平面と第2電極の平面に対して大略垂直であり、更に、第1型の細長いナノ構造体は第2型の細長いナノ構造体と異なる波長センシティブ検出器。

IPC (9件)：

H01L 31/10 , G01J 1/02 , B82B 1/00 , B82B 3/00 , H01L 29/06 , G01J 3/51 , G01J 4/04 , H01L 31/024 , H01L 31/026

FI (9件)：

H01L31/10 A , G01J1/02 B , B82B1/00 , B82B3/00 , H01L29/06 601N , G01J3/51 , G01J4/04 Z , H01L31/08 H , H01L31/08 L

Fターム (22件)：

2G020AA04 , 2G020AA08 , 2G020CC63 , 2G020CD03 , 2G020CD24 , 2G020DA13 , 2G020DA32 , 2G065AA04 , 2G065AB04 , 2G065BA02 , 2G065BA32 , 2G065BB26 , 5F049MA02 , 5F049MB03 , 5F049MB07 , 5F049NA10 , 5F049NB07 , 5F088AA11 , 5F088AB03 , 5F088AB07 , 5F088BB06 , 5F088DA05

引用特許：

審査官引用 (5件)

光検知器及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-082494 出願人：富士通株式会社
特開昭58-105569
特開昭58-105569

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