特許
J-GLOBAL ID:200903000611434591

角速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-044638
公開番号(公開出願番号):特開平11-230758
出願日: 1998年02月09日
公開日(公表日): 1999年08月27日
要約:
【要約】【課題】 音叉型振動ジャイロの原理による角速度センサは、各脚の周囲に励振用、検出用の両電極を備えるので、電極構成および回路との接続が極めて複雑となる。各電極と回路との総合的・合理的な接続を可能にすると共に廉価、小型かつ高精度のセンサ特性を発揮しうる構成を提案する。【解決手段】 各脚の電極の端部を音叉基部の主面の少なくとも一つに集め、基部の他の面を基台に固着し、基部電極群と基台側の電極群とを導体により接続したこと。また音叉基部上にICチップを搭載したこと。また音叉を回路基板と一体化した気密容器に封入したこと。また音叉の電極を共通に用いて音叉の励振と角速度の検出を時分割で行うこと。また音叉の圧電結晶材からのカット角を調節して主振動とコリオリ力による振動の両モードの周波数温度特性を整合させた。
請求項(抜粋):
2脚以上の音叉を用いた角速度センサであって、前記各脚の周囲面に設けた励振あるいは検出用の電極の端部を前記音叉の基部の主面の少なくとも一つに集め、前記基部の主面で基台に固着し、前記基部電極群と前記基台側の電極群との導体による接続を行ったことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許:
出願人引用 (2件)
  • 角速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-014806   出願人:京セラ株式会社
  • 角速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-014805   出願人:京セラ株式会社
審査官引用 (2件)
  • 角速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-014806   出願人:京セラ株式会社
  • 角速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-014805   出願人:京セラ株式会社

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