特許

J-GLOBAL ID：200903000612368100

ニオイ識別用センサアレイ

発明者： 鈴木 健吾 ,  前川 享 ,  高田 義
出願人/特許権者： 新コスモス電機株式会社
代理人 (1件)： 北村 修一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162470
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352087
出願日： 1998年06月10日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 十分な機械強度を有し、所要のニオイ源を互いの温度干渉を防ぎながら正確に検出可能なニオイ識別用センサアレイを得る。【解決手段】 金属酸化物半導体膜層5に金属酸化物触媒層6を積層配置して前記金属酸化物半導体膜層5に検出電極7を接続してなる感応部と、前記感応部を所定の作動温度に保持する加熱部8とからなるニオイ素子2の複数を基板1に配列して構成され、前記金属酸化物触媒層6のそれぞれが、アルミナ、シリカ、酸化亜鉛、ジルコニア、チタニア、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化鉄、酸化バナジウム、または、それら酸化物のいずれかを含む複合酸化物のうちから、互いに異なるように選択して形成されている。

請求項（抜粋）：

金属酸化物半導体膜層(5)に金属酸化物触媒層(6)を積層配置して前記金属酸化物半導体膜層(5)に検出電極(7)を接続してなる感応部と、前記感応部を所定の作動温度に保持する加熱部(8)とからなるニオイ素子(2)の複数を基板(1)に配列して構成されるニオイ識別用センサアレイであって、前記金属酸化物触媒層(6)のそれぞれが、アルミナ、シリカ、酸化亜鉛、ジルコニア、チタニア、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化鉄、酸化バナジウム、または、それら酸化物のいずれかを含む複合酸化物のうちから、互いに異なるように選択して形成されているニオイ識別用センサアレイ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 基板型半導体式ガスセンサ及びガス検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-048394   出願人：新コスモス電機株式会社
• 特開平4-127048
  
• ニオイセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-029398   出願人：能美防災株式会社
• 特開昭62-203051