特許

J-GLOBAL ID：200903046388889018

ニオイセンサ

発明者： 岡山 義昭 ,  小出 篤史
出願人/特許権者： 能美防災株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-029398
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242041
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【構成】 基板と、酸化物半導体からなるセンサ素子3と、該センサ素子用の電極4と、を含有してなるニオイセンサ用チップ6が、一枚の基板材料5に多数形成されたニオイセンサ1において、該センサ素子3および該電極4が形成された基板材料5面とは反対の裏側面に、基板材料5の切断を容易にするための穴部2または溝部2'が設けられていることを特徴としている。【効果】 治具を用いて基板材料5を容易に切断することができ、従ってチップに亀裂が生じたり、チップの大きさがバラバラになったり、センサ素子を誤って破壊してしまうということがない。さらに、蒸着時にマスク版が浮かないので、センサ素子が山なりとなることがなく、またセンサ素子用電極が酸化物半導体膜によって覆われることがないので、後のボンディング工程を容易に行うことができる。

請求項（抜粋）：

基板と、酸化物半導体からなるセンサ素子と、該センサ素子用の電極と、を含有してなるニオイセンサ用チップが、一枚の基板材料に多数形成されたニオイセンサにおいて、該センサ素子および該電極が形成された該基板材料面とは反対の裏側面に、該基板材料の切断を容易にするための穴部または溝部が設けられていることを特徴とする、ニオイセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ニオイ・センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-165991   出願人：能美防災株式会社
• センサ素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-207401   出願人：株式会社フジクラ