特許
J-GLOBAL ID:200903000645531014
光電変換装置及び放射線撮像装置
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山下 穣平
, 志村 博
, 永井 道雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-019032
公開番号(公開出願番号):特開2007-201246
出願日: 2006年01月27日
公開日(公表日): 2007年08月09日
要約:
【課題】欠陥検査工程において欠陥画素の特定が容易で、かつ狭画素ピッチの光電変換装置及び放射線撮像装置において、特性低下を防止する。【解決手段】光電変換素子1と、光電変換素子に電気的に接続される信号転送用TFT(薄膜トランジスタ)2と、光電変換素子に電気的に接続される、光電変換素子にバイアスを印加するためのリセット用TFT3と、を有する画素が、二次元状に絶縁性基板上に配設され、光電変換素子1と、信号転送用TFT2及びリセット用TFT3とが共通のコンタクトホール9を介して電気的に接続されている。信号転送用TFT2のソース又はドレイン電極と、リセット用TFT3のソース又はドレイン電極とが共通の導電層からなる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
少なくとも光信号を電気信号に変換する変換素子と、前記変換素子に電気的に接続される信号転送用スイッチ素子と、前記変換素子に電気的に接続される、前記変換素子にバイアスを印加するためのリセット用スイッチ素子と、を有する画素が、二次元状に絶縁性基板上に配設された光電変換装置であって、
前記変換素子と、前記信号転送用スイッチ素子及び前記リセット用スイッチ素子とが共通のコンタクトホールを介して電気的に接続されていることを特徴とする光電変換装置。
IPC (3件):
H01L 27/146
, G01T 1/20
, G01T 1/24
FI (4件):
H01L27/14 C
, G01T1/20 G
, G01T1/20 E
, G01T1/24
Fターム (24件):
2G088EE29
, 2G088FF02
, 2G088GG19
, 2G088GG20
, 2G088GG21
, 2G088JJ05
, 2G088JJ09
, 2G088JJ33
, 2G088JJ37
, 4M118AA08
, 4M118AA09
, 4M118AB01
, 4M118BA05
, 4M118CA02
, 4M118CA11
, 4M118CB06
, 4M118CB11
, 4M118DD12
, 4M118FB03
, 4M118FB09
, 4M118FB13
, 4M118FB19
, 4M118GA10
, 4M118HA26
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
放射線検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-329924
出願人:キヤノン株式会社
審査官引用 (2件)
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