特許
J-GLOBAL ID：200903000650045977
研磨フィルム
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
多田 公子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-195831
公開番号（公開出願番号）：特開2000-024936
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：
【要約】【課題】 研磨パッドとの密着性が良好で、貼着/剥離を容易に行うことができ、且つ安定した研磨を可能にする光コネクタ部用の研磨フィルムを提供する。【解決手段】支持体1の表面に研磨層2が形成され、支持体の裏面にすべり防止層3が形成された研磨フィルムであり、すべり防止層3は、厚さ2〜4μmの微粘着性の薄い層からなる。少なくとも支持体1のすべり防止層3が形成される面には、中心線平均表面粗さ(Ra75)が0.1〜1.0μmの範囲の凹凸が形成されている。この研磨フィルムは固定時に研磨パッドとの間に気泡が生じることなく、固定/剥離を容易に行うことができ、しかも剥離した後に粘着剤が残ることがない。またすべり防止層は研磨時に被研磨材料にかかる圧力に影響を与えない厚さなので、高精度の研磨を行うことができる。
請求項（抜粋）：
支持体と、この支持体表面に形成された研磨層と、前記支持体の研磨層と反対の面に形成されたすべり防止層とを備えた研磨フィルム。
IPC (3件)：
B24D 11/00
, B24B 19/00 603
, B24D 11/02
B24D 11/00 B
, B24B 19/00 603 Z
, B24D 11/02
3C049AA05
, 3C049AA09
, 3C049AA15
, 3C049CA01
, 3C049CB04
, 3C063AA03
, 3C063AB07
, 3C063BG08
, 3C063BG21
, 3C063BG23
, 3C063BG30
, 3C063EE01
, 3C063FF23
, 3C063FF30
