特許

J-GLOBAL ID：200903000696184254

温度調整装置、露光装置、アクチュエータ装置、保持装置、及びデバイス製造方法

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-200745
公開番号（公開出願番号）：特開2009-037391
出願日： 2007年08月01日
公開日（公表日）： 2009年02月19日
要約：

【課題】温度調整用の流体が供給される空間の圧力上昇を抑制して、物体を良好に温度調整できる温度調整装置を提供する。【解決手段】温度調整装置は、所定空間に温度調整用の流体を供給して物体の温度を調整する。温度調整装置は、所定空間に流体を供給するための供給流路と、供給流路から分岐する分岐流路と、所定空間に流入する流体の圧力に応じて、供給流路を流れる流体の少なくとも一部を分岐流路に流すことができる調整機構とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定空間に温度調整用の流体を供給して物体の温度を調整する温度調整装置であって、 前記所定空間に前記流体を供給するための供給流路と、 前記供給流路から分岐する分岐流路と、 前記所定空間に流入する前記流体の圧力に応じて、前記供給流路を流れる前記流体の少なくとも一部を前記分岐流路に流すことができる調整機構と、を備えた温度調整装置。

IPC (7件)：

G05D 23/00 ,  H02K 9/19 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/683 ,  H02K 41/02 ,  H02K 41/03

FI (10件)：

G05D23/00 A ,  H02K9/19 Z ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 516E ,  H01L21/30 515G ,  H01L21/68 R ,  H02K9/19 B ,  H02K9/19 A ,  H02K41/02 Z ,  H02K41/03 A

Fターム (50件)：

5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031HA08 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F031HA53 ,  5F031JA02 ,  5F031JA14 ,  5F031JA22 ,  5F031JA32 ,  5F031JA47 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC17 ,  5F046DA26 ,  5H323AA05 ,  5H323BB03 ,  5H323CA06 ,  5H323CB23 ,  5H323CB33 ,  5H323DA04 ,  5H323DA05 ,  5H323JJ10 ,  5H323KK05 ,  5H609BB08 ,  5H609PP01 ,  5H609PP06 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ03 ,  5H609QQ05 ,  5H609QQ09 ,  5H609RR74 ,  5H609SS20 ,  5H609SS21 ,  5H609SS23 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641GG02 ,  5H641GG07 ,  5H641GG10 ,  5H641HH02 ,  5H641JA06 ,  5H641JB04 ,  5H641JB05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 電磁アクチュエータ及びステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-281865   出願人：株式会社ニコン