特許
J-GLOBAL ID：200903024704886464
電磁アクチュエータ及びステージ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-281865
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114034
出願日： 1998年10月05日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 周囲への熱の伝達を低減しつつ、推力性能の向上を図る。【解決手段】 電磁アクチュエータ24の電機子ユニット24Aの内部区間を、仕切り部材81によって電機子コイル84Ai、84Bi(i=1〜N)を収納する冷却用空間83Aと断熱用空間83Bとを形成する。そして、冷却用空間83Aに冷却機能に優れた第1冷媒を供給するとともに、断熱用空間83Bに断熱機能に優れた第2冷媒を供給する。これにより、電機子コイル84Ai、84Biで発生した熱の除去と断熱とを効果的に行うことができる。したがって、周囲雰囲気や周囲部材への熱の影響を効果的に防止することができる。
請求項（抜粋）：
内部空間を有し、該内部空間に電機子コイルを収納する電機子ユニットを備える電磁アクチュエータにおいて、前記内部空間には、前記電機子コイルを収納し、少なくとも一部が冷却される冷却空間と、前記内部空間を外部空間と断熱する断熱空間とを形成する仕切り部材が配設されていることを特徴とする電磁アクチュエータ。
Fターム (2件)：
引用特許：
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