特許

J-GLOBAL ID：200903000731538099

被処理体の検出装置

発明者： 広木 勤
出願人/特許権者： 東京エレクトロン山梨株式会社
代理人 (1件)： 金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-061295
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249966
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ガラス基板などの被処理体が所定位置に正しく存在しているかどうかを検出する。【構成】 LCD用ガラス基板P1、P2の位置合わせを行うローラ21aに貫通孔23を設け、所定位置にある時にレーザ光がこの貫通孔23を通過するように、ロードロック室2の外方両側に、レーザ発光装置26とレーザ受光装置27を相互に対向して設ける。基板が所定位置にあるときにはレーザ光を受光するが、所定位置にない場合にはレーザ光を受光できず、当該受光の有無によって基板の存在の有無を検出する。【効果】 基板の材質や表面状態によって検出が左右されない。レーザ発光装置などの検出手段を大気中に配置できる。

請求項（抜粋）：

所定位置にセットされる被処理体の有無を検出する装置であって、発光装置、及び当該発光装置からの検出光を受光する受光装置、被処理体の有無により存在位置が移動する移動体を有し、前記移動体に前記検出光が通過可能な貫通孔を穿設し、被処理体が所定位置に存在するときに前記検出光が前記貫通孔を通過して前記受光装置によって受光される如く構成し、さらに前記移動体の移動範囲を前記検出光の遮蔽範囲内に設定したことを特徴とする、被処理体の検出装置。

IPC (2件)：

G01V 9/04 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ワイヤボンデイング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-165352   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平3-274905
  
• 特開平3-117202