特許
J-GLOBAL ID：200903000746954838
静電吸着機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-227323
公開番号（公開出願番号）：特開平9-055420
出願日： 1995年08月11日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】 固定ネジによる固定の場合、熱的に過酷な条件で使用すると、誘電体ブロックの熱膨張率と固定ネジ及びその周辺の部材の熱膨張率の相違から、固定ネジの周辺部分に熱応力歪みが集中し、この部分で誘電体ブロックが割れてしまうことがあった。【解決手段】 電極体1の前側に配置され、誘電分極して被吸着物体3を静電的に吸着する誘電体部分21を含む誘電体ブロック2と、電極体1と誘電体ブロック2との間に介在された中間層8とからなり、中間層8は電極体1又は誘電体ブロック2の熱変形を吸収する伸延性を有するインジウム等の金属から形成され、加熱加圧されることによって電極体1と誘電体ブロック2を接合固定している。誘電体ブロック2の接合面にはインジウムやクロム等の薄膜9が作成され、中間層8による接合力や密着性を高めている。
請求項（抜粋）：
電極体と、電極体の前側に配置され、電極体を介して印加される直流電圧によって誘電分極して被吸着物体を静電的に吸着する誘電体部分を含む誘電体ブロックと、電極体と誘電体ブロックとの間に介在された中間層とからなり、中間層は、電極体又は誘電体ブロックの熱変形を吸収する伸延性を有する金属から形成され、所定の温度に加熱され所定の圧力に加圧されることによって電極体と誘電体ブロックとを接合しており、この接合によって誘電体ブロックが電極体に固定されていることを特徴とする静電吸着機構。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, C23C 16/44
, H01L 21/205
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15 D
, C23C 16/44 H
, H01L 21/205
