特許

J-GLOBAL ID：200903000777383197

スペーサ一体型ガラス基板の製造方法

発明者： 岡本 慎也 ,  斉藤 靖弘 ,  中村 泰 ,  日▲高▼ 猛
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社 ,  オリンパス株式会社
代理人 (1件)： 茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-259961
公開番号（公開出願番号）：特開2006-078224
出願日： 2004年09月07日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：

【課題】 耐熱性・耐薬品性を改善し、被検体の溶液として有機溶剤が使用できるようにする。【解決手段】 ガラス基板10の表面及びその近傍に、圧力印加によって、使用するエッチング液に対するエッチングレートが他の部分と異なる線状もしくは枠状の領域を設け、次いでこのガラス基板を前記エッチング液により化学的エッチング処理して、ガラス基板の表面に堤防状の凸部16によるスペーサを一体的に形成するスペーサ一体型ガラス基板の製造方法である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ガラス基板の表面及びその近傍に、圧力印加によって、使用するエッチング液に対するエッチングレートが他の部分と異なる線状もしくは枠状の領域を設け、次いで前記ガラス基板を前記エッチング液により化学的エッチング処理して、前記ガラス基板の表面に堤防状の凸部によるスペーサを一体的に形成したことを特徴とするスペーサ一体型ガラス基板の製造方法。

IPC (2件)：

G01N 1/28 ,  C03C 15/00

FI (2件)：

G01N1/28 U ,  C03C15/00 Z

Fターム (10件)：

2G052DA07 ,  2G052EC11 ,  2G052EC14 ,  2G052FA00 ,  2G052GA32 ,  4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB11 ,  4G059AC01 ,  4G059BB14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プレパラートおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-159380   出願人：凸版印刷株式会社

審査官引用 (2件)

• 顕微試料とその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-059140   出願人：新技術事業団, 船倉省二, 杉村博之
• ガラス基材の微細加工方法、微細加工用ガラス基材及び微細加工ガラス製品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-267123   出願人：日本板硝子株式会社