熱処理装置及び熱処理方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347532
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183222
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】ボートカバー部材と一体となったボートに半導体ウェハを塵埃の付着が少なく搬入搬出することができるとともに、半導体ウェハに均一成膜することのできる熱処理装置及び熱処理方法を提供すること。【構成】平板状のウェハ移載アームで半導体ウェハをボートに収容された半導体ウェハの周囲を覆うボートカバー部材が設けられたボートに移載するものであって、半導体ウェハ搬入搬出側に第1の開口部を設け、この第1の開口部と対向する側に第2の開口部を設け、アームで半導体ウェハを移載する際、ボートカバー部材を干渉しなくなり、成膜時には第1と第2の開口部にそれぞれボートカバー部材が設けられる。

請求項（抜粋）：

所定の間隔でボートに収容した複数の半導体ウェハ列を覆うボートカバーが設けられた熱処理装置において、前記ボートに設けられ、前記ウェハ列の周囲を所定の間隔で覆う第1のボートカバー体と、前記ウェハ直径より広い幅で、前記ボートのウェハ収容領域全域に渡って、前記第1のボートカバー体に設けられた第1開口部と、この第1開口部と対向する側に設けられ、前記第1開口部より狭い幅で、前記ボートのウェハ収容領域全域に渡って前記第1のボートカバー体に設けられた第2開口部と、前記ウェハを載置して搬送するアームの先端部に、前記ウェハがアームの先端部方向へ移動することを制限する凸部が設けられたウェハ搬送装置と、前記第1開口部と前記第2開口部をそれぞれ覆う第2のボートカバー体と第3のボートカバー体とから構成されたことを特徴とする熱処理装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-206629
特開平4-137646
基板搬送用アーム
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-186032 出願人：松下電器産業株式会社

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