液侵露光装置および液侵露光方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-128832
公開番号（公開出願番号）：特開2007-300042
出願日： 2006年05月08日
公開日（公表日）： 2007年11月15日
要約：

【課題】液侵露光における液侵液が乾燥した後のウォーターマークの発生を防止すること。【解決手段】本発明は、感光剤の塗布されたウェハWと露光用のレンズ10との間に液侵液Lを介在させて露光を行う液侵露光装置1において、ウェハWとレンズ10との間に液侵液Lを介在させる前に、ウェハWの表面にオゾン水を浸す、もしくはオゾンを照射する、もしくは紫外線を照射する前処理部30を備えているものである。また、ウェハWとレンズ10との周辺を覆うチャンバ20内に不活性ガスを充填する導入管21を備えるものでもある。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

感光剤の塗布されたウェハと露光用レンズとの間に液侵液を介在させて露光を行う液侵露光装置において、前記ウェハと前記露光用レンズとの間に前記液侵液を介在させる前に、前記ウェハの表面にオゾン水を浸す前処理手段を備えていることを特徴とする液侵露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20

FI (3件)：

H01L21/30 565 , G03F7/20 521 , H01L21/30 515D

Fターム (4件)：

5F046BA03 , 5F046CB24 , 5F046DA27 , 5F046JA22

引用特許：

出願人引用 (1件)

液浸型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-121757 出願人：株式会社ニコン

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