メタルマスクの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤憲秋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-294713
公開番号（公開出願番号）：特開2006-103223
出願日： 2004年10月07日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】開口部内壁の平滑度を高めてハンダペーストの塗布量を安定させるメタルマスクの製造方法を提供する。【解決手段】金属板10にレーザ光を照射して印刷用のパターン開口部を形成し、前記開口部内に微細な砥粒を含む研磨剤溶液を封入し金属板10に振動を加えて該開口部の内壁を研磨するとともに、次いで、開口部内壁12に前記研磨剤溶液30と極細繊維50よりなる研磨材を接触させて内壁12を研磨する。前記研磨剤溶液30は、アルミナの微細な砥粒31を含む硝酸塩と水との混合液である。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

金属板にレーザ光を照射して印刷用のパターン開口部を形成し、前記開口部内に微細な砥粒を含む研磨剤溶液を封入し金属板に振動を加えて該開口部の内壁を研磨するとともに、次いで、前記開口部内壁に前記研磨剤溶液と極細繊維よりなる研磨材を接触させて内壁を研磨することを特徴とするメタルマスクの製造方法。

IPC (4件)：

B41C 1/05 , B23K 26/00 , B24B 9/00 , B24B 31/00

FI (4件)：

B41C1/05 , B23K26/00 G , B24B9/00 601K , B24B31/00 C

Fターム (30件)：

2H084AA05 , 2H084AE05 , 2H084BB08 , 2H084CC10 , 2H084CF10 , 3C049AA07 , 3C049AA11 , 3C049AB01 , 3C049CA01 , 3C049CB01 , 3C058AA01 , 3C058AA07 , 3C058AB01 , 3C058CA01 , 3C058CB01 , 3C058CB05 , 3C058DA02 , 3C058DA10 , 4E068AH00 , 4E068CE04 , 4E068CJ07 , 4E068DA11 , 4E068DA14 , 4E068DB01 , 5E319AA03 , 5E319BB05 , 5E319CC33 , 5E319CD04 , 5E319CD29 , 5E319GG20

引用特許：

出願人引用 (1件)

スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-234764 出願人：太陽化学工業株式会社

審査官引用 (4件)

スクリーン印刷用メタルマスクの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-234764 出願人：太陽化学工業株式会社
電極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-241552 出願人：ブラザー工業株式会社
柔軟なキャリアプレートを有する半導体ウェハポリシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-030088 出願人：インテグレイテッドプロセスイクイプメントコーポレイション

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