ゲートバルブ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-022140
公開番号（公開出願番号）：特開平7-208620
出願日： 1994年01月21日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】構造が簡単で小型のゲートバルブを提供すると共にパーティクルの発生を抑制し、高清浄度雰囲気での使用を可能とする。【構成】気密室に軸支持ブロック21を設け、該軸支持ブロックにスライド軸受23を揺動自在に枢支し、該スライド軸受に段差を有する段付きロッド25を摺動自在に嵌合し、該ロッドの先端に弁体11を固着すると共に前記ロッドの気密室1貫通部をベローズ26により気密封止し、前記軸支持ブロック21に開閉シリンダ27を設け、該シリンダをスライドブロック28に連結し、該スライドブロックと前記ロッドの基端とをリンク32により連結し、前記ロッドと前記スライドブロックとの近接離反で前記リンクを介して前記ロッドが揺動可能とし、前記シリンダの作動で、開口部の閉塞、開放位置に弁体が移動し、弁体が閉塞位置にある場合に更に作動すると、前記ロッドと前記スライドブロックとが近接離反し、この動作はリンクを介して前記ロッドの揺動に変換され、弁体が開口部に密着、離反する。

請求項（抜粋）：

気密室に軸支持ブロックを設け、該軸支持ブロックにスライド軸受を揺動自在に枢支し、該スライド軸受に段差を有する段付きロッドを摺動自在に嵌合し、該段付きロッドの先端に弁体を固着すると共に前記段付きロッドの気密室貫通部をベローズにより気密に封止し、前記軸支持ブロックに開閉シリンダを設け、該開閉シリンダをスライドブロックに連結し、該スライドブロックと前記段付きロッドの基端とをリンクにより連結し、前記段付きロッドと前記スライドブロックとの近接離反で前記リンクを介して前記段付きロッドが揺動可能としたことを特徴とするゲートバルブ。

IPC (2件)：

F16K 3/16 , F16K 41/10

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-149469
特開平2-229967
特開昭64-040765

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