窒素及び/又は酸素及び精製空気の製造・供給装置及び方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木戸一彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-027588
公開番号（公開出願番号）：特開平11-221420
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】空気精製装置,空気液化分離装置及びバックアップ装置を有機的に連結し、精製空気を含む各種ガスを効率よく、かつ、安定的に継続して供給する。【解決手段】空気圧縮機2で圧縮した圧縮空気を精製器4で精製して汎用精製空気を製造供給する空気精製装置と、原料空気圧縮機12で圧縮して触媒精製器14,吸着精製器16で精製した原料精製空気を空気液化分離部18に導入し、窒素ガス,酸素ガスを精留分離して供給する空気液化分離装置Bと、液化窒素貯槽22,液化窒素蒸発器24,液化酸素貯槽32,液化酸素蒸発器34及び混合器40を備えたバックアップ装置Cとを備えるとともに、原料精製空気と汎用精製空気とを合流させる流路を備えている。

請求項（抜粋）：

空気精製装置及び空気液化分離装置により、精製空気,酸素ガス,窒素ガス等を製造・供給する装置であって、空気圧縮機及び該空気圧縮機で圧縮した圧縮空気中の少なくとも水分を除去する精製器からなり、汎用精製空気を製造する空気精製装置と、原料空気圧縮機及び吸着精製器により原料精製空気を製造し、該原料精製空気を空気液化分離部に導入して窒素ガス及び/又は酸素ガスを精留分離する空気液化分離装置と、前記吸着精製器の出口流路と前記空気精製装置の精製器の出口流路とを弁を介して連結し、前記原料精製空気を汎用精製空気に合流させる流路と、を備えていることを特徴とする窒素及び/又は酸素及び精製空気の製造・供給装置。

IPC (6件)：

B01D 53/04 , B01D 53/22 , B01D 53/26 , B01D 53/26 101 , B01D 53/87 , F25J 3/04 101

FI (7件)：

B01D 53/04 Z , B01D 53/22 , B01D 53/26 A , B01D 53/26 Z , B01D 53/26 101 A , F25J 3/04 101 , B01D 53/36 B

引用特許：

出願人引用 (8件)

半導体製造工場向け各種ガスの製造方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-096200 出願人：日本酸素株式会社, 富士通株式会社
特開平4-219111
特開平3-017489

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審査官引用 (8件)

半導体製造工場向け各種ガスの製造方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-096200 出願人：日本酸素株式会社, 富士通株式会社
特開平4-219111
特開平3-017489

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