特許
J-GLOBAL ID：200903000835168820
研磨装置及び研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-094141
公開番号（公開出願番号）：特開平11-291167
出願日： 1998年04月07日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：
【要約】【課題】 円盤状研磨装置、ベルト状研磨装置では装置が大型で重量が重く、且つ研磨パッドの研磨速度をウェハ面の各点で均一にできないという問題があった。ベルト状研磨装置では更に研磨パッドが消耗したときの交換作業に長時間の装置停止時間を要する問題、両端にローラ部有するので、装置が大型化する問題があった。【解決手段】研磨パッドを硬質の定盤に固定して、これに研磨パッド振動機構により振動を与え、更にウェハにも回転または振動の一つ以上を与えることによりウェハと研磨パッド間に相対運動を起こし、研磨パッドとウェハの振動の振幅、振動数、位相差を制御することにより相対運動を自由に制御することを可能とし、上記問題を解決した。
請求項（抜粋）：
研磨パッド部と被研磨部材保持部とを具え被研磨部材を研磨する研磨装置であって、前記被研磨部材保持部が前記被研磨部材を保持する被研磨部材保持機構と、前記被研磨部材に回転運動を与えるための被研磨部材回転部または前記被研磨部材に振動運動を与えるための被研磨部材振動部の一方か両方を具え、前記研磨パッド部が研磨パッドを保持するための研磨パッド保持機構と、前記研磨パッドに振動運動を与えるための研磨パッド振動部とを具えることを特徴とする研磨装置。
IPC (4件)：
B24B 37/04
, B24B 37/00
, H01L 21/304 621
, H01L 21/304 622
B24B 37/04 G
, B24B 37/00 E
, H01L 21/304 621 D
, H01L 21/304 622 R
