ステージ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-153458
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022942
出願日： 1994年07月05日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】移動テーブルが許容移動範囲を超えて移動テーブルの駆動装置に対する駆動電力が遮断されたときに、その移動テーブルがその許容移動範囲内に自動的に復帰できるようにする。【構成】フレーム44中のリニアガイド45に沿って可動子46が載置され、可動子46は引っ張りコイルばね47により側壁44a側に付勢されている。走査ステージ9が可動子46側に移動すると、可動子46が-Y方向に移動し、可動子46に固定された作動板49がマイクロスイッチ50に接触すると、走査ステージ9を駆動するリニアモータへの駆動電流が断たれる。その後、可動子46により走査ステージ9は+Y方向に押されて許容移動範囲51に戻り、マイクロスイッチ50は開いた状態に戻る。

請求項（抜粋）：

位置決め対象物が載置される移動テーブルと、該移動テーブルが所定の方向に移動自在に載置されるベースと、該ベースに対して前記移動テーブルを前記所定の方向に駆動する駆動手段と、を有するステージ装置において、前記ベースに対して前記移動テーブルが前記所定の方向への許容移動範囲を超えて移動したときに前記駆動手段の動作を停止させるスイッチ手段と、前記スイッチ手段が作動するよりも早く前記移動テーブルを前記ベースに対して前記許容移動範囲側に押し戻すための付勢力を発生する押し戻し手段と、を備えたことを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , H01L 21/68 , B23Q 5/52

FI (2件)：

H01L 21/30 515 F , H01L 21/30 515 G

引用特許：

出願人引用 (4件)

移動案内装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-275041 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-291144
特開昭64-071143

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審査官引用 (3件)

移動案内装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-275041 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-291144
特開昭64-071143

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