特許
J-GLOBAL ID：200903000888644950
アクチュエータ装置、液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-165975
公開番号（公開出願番号）：特開2005-035282
出願日： 2004年06月03日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】 圧電体層の破壊を防止でき、圧電素子の安定した変位特性が得られるアクチュエータ装置、液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】 圧電素子300を構成する下電極60がパターニングされて圧力発生室12に対応する領域内にその少なくとも一方の端面が形成され、圧電体層70が複数層の強誘電体膜71で構成されると共にこれら複数層の強誘電体膜71のうちの最下層である第1の強誘電体膜71aが下電極60上のみに設けられてその端面が下電極の端面60と連続的に形成され、第1の強誘電体膜71a及び下電極60の端面を振動板に対して10〜50°の範囲で傾斜する傾斜面とし且つ第1の強誘電体膜71a上に形成される他の強誘電体膜71b〜71fを下電極60及び第1の強誘電体膜71aの傾斜面である端面を覆って設ける。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側の領域に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備し、
該圧電素子を構成する前記下電極がパターニングされて前記圧力発生室に対向する領域内にその少なくとも一方の端面が形成され、前記圧電体層が複数層の強誘電体膜で構成されると共にこれら複数層の強誘電体膜のうちの最下層である第1の強誘電体膜が前記下電極上のみに設けられてその端面が前記下電極の端面と連続的に形成され、前記第1の強誘電体膜及び前記下電極の端面が前記振動板に対して10〜50°の範囲で傾斜する傾斜面となっており且つ前記第1の強誘電体膜上に形成される他の強誘電体膜が前記下電極及び前記第1の強誘電体膜の傾斜面である端面を覆って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (9件)：
B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, H01L41/08
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/22
, H01L41/24
, H02N2/00
B41J3/04 103A
, H02N2/00 B
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/22 Z
, H01L41/22 A
, H01L41/18 101D
, H01L41/08 L
, H01L41/08 D
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AN01
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP52
, 2C057AP56
, 2C057AP57
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
