感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-047783
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244246
出願日： 1996年03月05日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】紫外線、遠紫外線、X線あるいは荷電子線の如き各種放射線に有効に感応して、化学増幅型ポジ型レジストとして極めて有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】下記式(1)、(2)で示される繰返し単位からなる(A)共重合体10〜90重量部と下記式(1)、(3)からなる(B)共重合体10〜90重量部および感放射線性酸発生剤からなる感放射線性樹脂組成物。R1は水素原子またはメチル基を示す。R2は水素原子またはメチル基、R3は水素原子、炭素数1〜10の鎖状アルキル基等、R4とR5は互いに独立に炭素数1〜10の鎖状アルキル基等、を示すかあるいはR3、R4およびR5のいずれか2つが互いに結合して5〜7員環を形成していてもよい。R6、R7およびR8は同一もしくは異なり、水素原子またはメチル基であり、R9はtert-ブチル基等を示す。

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位からなる共重合体、【化1】ここで、R1は水素原子またはメチル基を示す、【化2】ここで、R2は水素原子またはメチル基を示し、R3は水素原子、炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示し、R4とR5は互いに独立に炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示すかあるいはR3、R4およびR5のいずれか2つが互いに結合して5〜7員環を形成していてもよい、(B)下記式(3)で表される繰返し単位および上記式(1)で表される繰返し単位からなる共重合体【化3】ここで、R6、R7およびR8は同一もしくは異なり、水素原子またはメチル基であり、R9はtert-ブチル基または下記式(4)【化4】ここで、Xは水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、炭素数1〜7のアルキル基、炭素数2〜5のアルケニル基、炭素数2〜5のアルコキシアルキル基、炭素数7〜12のアラルキル基または単環もしくは2環のアリール基であり、nは2〜9の整数であり、aは0〜2nの整数である、但し、aが2以上の整数の場合、複数のXは同一でも異なっていてもよい、および(C)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (5件)

ポジ型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-286168 出願人：東京応化工業株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-203763 出願人：株式会社東芝
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-346561 出願人：日本合成ゴム株式会社

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審査官引用 (5件)

ポジ型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-286168 出願人：東京応化工業株式会社
感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-203763 出願人：株式会社東芝
特開平4-251259

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