マグネトロンスパッタリング装置、成膜方法及び有機電界発光素子の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-105771
公開番号（公開出願番号）：特開2008-261031
出願日： 2007年04月13日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：

【課題】本発明は、有機電界発光素子作製において、電極、水分吸着膜、環境遮断膜からなる複数の膜を、環境雰囲気に素子特性が影響されずに、容易に連続成膜することが可能なスパッタリング装置及び成膜方法を提供することを課題とした。【解決手段】チャンバー内に、筒状のバッキングプレートと、バッキングプレートの高さ方向を回転軸方向とするバッキングプレート回転手段と、バッキングプレートの外面に配置された複数のターゲット設置部と、各ターゲット設置部の背面位置に設置された極性の異なる対のカソードマグネットと、基板と、基板と対向する位置に具備されたターゲットに接続する機構を有するスパッタリング用電源とを有するマグネトロンスパッタリング装置とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

チャンバー内に筒状のバッキングプレートと、バッキングプレートをその周方向に回転させるバッキングプレート回転手段と、バッキングプレート外面の前記周方向に複数配置されたターゲット設置部と、各ターゲット設置部の背面位置に設置された極性の異なる対のカソードマグネットと、基板及び基板と対向する位置に具備されたターゲットに接続する機構を有するスパッタリング用電源とを有するマグネトロンスパッタリング装置。

IPC (6件)：

C23C 14/34 , C23C 14/35 , C23C 14/12 , H05B 33/10 , H01L 51/50 , H05B 33/26

FI (7件)：

C23C14/34 C , C23C14/35 B , C23C14/35 Z , C23C14/12 , H05B33/10 , H05B33/14 A , H05B33/26 Z

Fターム (22件)：

3K107AA01 , 3K107CC23 , 3K107CC45 , 3K107DD03 , 3K107DD21 , 3K107DD26 , 3K107DD58 , 3K107EE46 , 3K107GG05 , 3K107GG07 , 3K107GG32 , 4K029BA45 , 4K029BC03 , 4K029BC09 , 4K029BD00 , 4K029BD02 , 4K029DC16 , 4K029DC21 , 4K029DC22 , 4K029DC30 , 4K029DC31 , 4K029DC43

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開2003-901158号公報
有機EL素子用透明電極板および有機EL素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-063009 出願人：呉羽化学工業株式会社
特許第2850906号公報

全件表示

前のページに戻る