カセット内ウエフア検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-009870
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214483
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ポッドカセットに収納したウエフアを検出することができ、その検出中にウエフアの搬送を行うロボットはウエフアの検出動作とは独立した動きを取ることができるカセット内ウエフア検出装置を提供する。【解決手段】カセットに収納されたウエフアを該カセットとセンサの相対移動で検出する。カセットは蓋2の着脱で気密の封止や解除ができるポッドカセット1であり、蓋を着脱するオープナー108と、オープナーに取り付けられたウエハの検知センサ15と、処理台上に置かれたポッドカセットの蓋をオープナーが着脱する際のオープナーとポッドカセットとの相対移動時に検知センサの出力に基づいて該カセット内に収納されたウエフア104の有無を検出する手段を有する。検知センサをオープナーの上面左右両端部に配置し、ポッドカセットに収納されているウエフアのほぼ中心位置の方向に移動させ得る手段を介して取り付けている。

請求項（抜粋）：

カセットに収納されたウエフアを該カセットとセンサの相対移動で検出するカセット内ウエフア検出装置において、カセットは蓋の着脱で気密の封止や解除をすることができるポッドカセットであり、ポッドカセットの蓋を着脱するオープナーと、オープナーに取り付けられたウエハの検知センサと、処理台上に置かれたポッドカセットの蓋をオープナーが着脱する際、該ポッドカセット内に収納されたウエフアの配列方向でのオープナーとポッドカセットとの相対移動時に検知センサの出力に基づいてウエフアの有無を検出する手段とを有することを特徴とするカセット内ウエフア検出装置。

引用特許：

出願人引用 (1件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-311821 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

審査官引用 (1件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-311821 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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