特許
J-GLOBAL ID：200903006028061688
基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-311821
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145244
出願日： 1997年11月13日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 基板処理装置において、カセット内の基板の収容状態を把握する技術を提供する。【解決手段】 隔壁12の通過口12aを塞ぐためのシャッター部材5に反射型センサ10を取り付ける。シャッター部材5と一体となって下降する反射型センサ10は、カセット1内の基板Wを順次検出していく。データ処理部11は、基板Wの検出情報を収集する。一方、位置検出手段は、昇降機構7aに備えるエンコーダ13aから送られる情報から、反射型センサ10の位置を検出する。処理部14は、基板Wの検出情報と、反射型センサ10の位置とから、カセット1内の基板Wの状態を把握することができる。
請求項（抜粋）：
複数枚の基板を収納したカセットから基板を順に取り出して処理を行う基板処理装置であって、基板の取り出し・収納するための開口を備え、収納された基板をほぼ水平に保持するための溝が複数段形成されたカセットを載置する載置部と、前記基板に処理を行う処理部と、前記載置部と処理部とを仕切る隔壁に設けられた通過口と、前記通過口を開閉するシャッターと、前記シャッターを進退駆動および昇降駆動させるシャッター駆動機構と、前記シャッターに取り付けられ、前記カセットの各溝に収納された基板の有無を検出する検出手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 L
, B65G 49/07 L
