単結晶引上げ装置用水冷筒

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124807
公開番号（公開出願番号）：特開平9-309787
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】結晶育成界面の観察を妨げず、結晶の冷却速度を向上させ、品質の優れた単結晶の引上げ装置用水冷筒を提供。【解決手段】単結晶の原料溶融液6を収容する坩堝3を中心に配するチャンバー1の天井開口部1aに上端部分が取り付けられ、単結晶の引上げ域にあって引き上げられる単結晶2を取り囲むように円筒状からなり、さらに下部には下記(A) および(B) 式で規定される観察用の開口窓が設けられていることを特徴とする単結晶引上げ装置用水冷筒17。1/4 D≦L≦D ・・・ (A)0.3 D≦H≦3D ・・・ (B)ただし、D:水冷筒外径、 L:窓開口長さH:窓開口高さ上記開口窓は石英ガラス19で覆われているのが望ましい。

請求項（抜粋）：

単結晶の原料溶融液を収容する坩堝を中心に配するチャンバーの天井開口部に上端部分が取り付けられ、単結晶の引上げ域にあって引き上げられる単結晶を取り囲むように円筒状からなり、さらに下部には下記(A) および(B) 式で規定される観察用の開口窓が設けられていることを特徴とする単結晶引上げ装置用水冷筒。1/4 D≦L≦D ・・・ (A)0.3 D≦H≦3D ・・・ (B)ただし、D:水冷筒外径、 L:窓開口長さH:窓開口高さ

IPC (4件)：

C30B 15/00 , C30B 15/26 , C30B 29/06 502 , H01L 21/208

FI (4件)：

C30B 15/00 Z , C30B 15/26 , C30B 29/06 502 E , H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-097481
特開平2-097481
特開平3-097688

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