特許
J-GLOBAL ID：200903000941122189
エタロン評価方法及びエタロン評価装置並びにレ-ザ発振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-006625
公開番号（公開出願番号）：特開平11-289116
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 エキシマレーザの狭帯域化に使用されるエタロンにレーザ光を照射し、特性を評価する装置において、キ ゙ャッフ ゚間隔のばらつきを正確に評価する装置及び方法を提供することを目的とする。【解決手段】 アパーチャ5をエタロン7の直前に配置し、アパーチャ5を移動するごとにエタロン7の透過特性を測定することで、透過特性の中心位置の移動量からエタロン7のギャップ間隔のばらつきを定量的に評価することが出来る。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器、拡散板、集光レンズ、受光センサーから構成され、拡散板と集光レンズの間にファブリーペローエタロンを設置し、前記ファブリペローエタロンの等傾角干渉縞を測定し、特性を評価する装置において、前記レーザ発振器からの光を前記ファブリペローエタロンの複数領域に入射可能にする手段を有する評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/00 F
, H01S 3/223 E
