特許

J-GLOBAL ID：200903000980384220

エネルギー分散型半導体X線検出器

発明者： 新井 重俊
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-070438
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253762
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 全体としてコンパクトでしかも安価でありながらも優れた分解能を有するEDS検出器を提供すること。【解決手段】 小型ガス循環式冷凍機3によってX線検出素子7を冷却するようにしたEDS検出器において、前記X線検出素子7として高純度のシリコン検出素子からなるものを用いた。

請求項（抜粋）：

小型ガス循環式冷凍機によってX線検出素子を冷却するようにしたエネルギー分散型半導体X線検出器において、前記X線検出素子として高純度のシリコン検出素子からなるものを用いたことを特徴とするエネルギー分散型半導体X線検出器。

IPC (3件)：

G01T 1/24 ,  H01L 31/09 ,  G01N 23/22

FI (3件)：

G01T 1/24 ,  G01N 23/22 ,  H01L 31/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• EDS検出器の素子冷却装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-280943   出願人：岩谷産業株式会社, イワタニプランテック株式会社, 日本電子株式会社
• 特開昭63-195584