特許
J-GLOBAL ID：200903000990976398

リークディテクタ

発明者：
井川 秋夫

井川 秋夫 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-354875
公開番号（公開出願番号）：特開2008-164462
出願日： 2006年12月28日
公開日（公表日）： 2008年07月17日
要約：
【課題】ヘリウムを含む複数のキャリアガスによるリーク検査を作業性良く行うことができるリークディテクタの提供。【解決手段】ヘリウムガスと水素ガスとの混合ガスが充填された校正用標準リーク6を装着して校正動作を行うことにより、ヘリウムガスおよび水素ガスの各検出感度をいっぺんに取得することができる。取得された各検出感度は記憶部72に記憶される。そして、いずれのキャリアガスでリーク検査を行うかが操作部71により指示されると、指示されたキャリアガスが検出できるように分析管5の加速電圧が設定され、指示されたキャリアガスの検出感度を用いてリーク量が算出される。その結果、キャリアガスの異なるリーク検査を切り替えて行う場合に、リーク検査作業時間の短縮を図ることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検体からのキャリアガスを分析管に導いて検出し、前記キャリアガスの検出感度に基づいて前記被検体のリーク量を算出するリークディテクタにおいて、 複数のキャリアガスに対する各々の検出感度を記憶する記憶部と、 前記複数のキャリアガスからリーク量測定に用いるキャリアガスを選択する選択手段と、 前記選択手段で選択されたキャリアガスに応じて、前記分析管のキャリアガスイオンを検出するためのパラメータを変更する変更手段と、 前記選択手段で選択されたキャリアガスに応じて、前記記憶部に記憶されている複数の検出感度のいずれか一つをリーク量算出用検出感度に設定する設定手段とを備えたことを特徴とするリークディテクタ。
IPC (4件)：
G01M 3/20 ,  G01M 3/00 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/30
FI (4件)：
G01M3/20 Z ,  G01M3/00 J ,  G01N27/62 H ,  H01J49/30
Fターム (10件)：
2G041CA01 ,  2G041EA05 ,  2G041EA12 ,  2G041GA02 ,  2G067CC11 ,  2G067CC13 ,  2G067DD17 ,  2G067DD18 ,  2G067EE14 ,  5C038HH07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)
  • ガス分析装置
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平11-511786   出願人：アルカテル

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