特許

J-GLOBAL ID：200903000997497657

洗浄液供給系及び供給方法

発明者： 田代 浩一郎 ,  新田 雄久 ,  木村 美良 ,  大見 忠弘
出願人/特許権者： 株式会社ウルトラクリーンテクノロジー開発研究所 ,  株式会社ベンカン ,  大見 忠弘
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-156241
公開番号（公開出願番号）：特開平11-000627
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、バルブの開閉動作により生じる圧力変動を抑制し、それに伴って配管系から発生するパーティクルを抑えた洗浄液供給系及び供給方法を提供することを目的とする。【解決手段】 洗浄用ノズルに洗浄液を供給するための洗浄液供給配管に分岐配管を設け、前記供給配管及び前記分岐配管の当該分岐点の下流側にそれぞれメインバルブ及びサブバルブを設け、メインバルブの開閉により生じる洗浄液の圧力変動を抑制するために前記メイン及びサブバルブの開閉のタイミングを制御する手段を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

洗浄用ノズルに洗浄液を供給するための洗浄液供給配管に分岐配管を設け、前記供給配管及び前記分岐配管の当該分岐点の下流側にそれぞれメインバルブ及びサブバルブを設け、メインバルブの開閉により生じる洗浄液の圧力変動を抑制するために前記メインバルブ及びサブバルブの開閉のタイミングを制御する手段を設けたことを特徴とする洗浄液供給系。

IPC (5件)：

B08B 3/02 ,  B08B 3/08 ,  F17D 1/08 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (5件)：

B08B 3/02 Z ,  B08B 3/08 Z ,  F17D 1/08 ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 341 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭54-079818
  
• 特開昭54-079818
  
• シャワー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-292689   出願人：株式会社ノーリツ