特許

J-GLOBAL ID：200903001007161052

鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-231135
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083276
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置において、除振台を剛に作る必要性を排除し、かつ剛に作らなかったことによって発生する柔軟な振動モードの捻り運動も剛体の振動モードとともに効果的に抑制する。【構成】 運動モード抽出回路16は、4箇所の位置偏差信号を入力とする演算によって並進1自由度、回転2自由度、及び捻り1自由度の運動モードを抽出する。運動モード抽出回路16’は4箇所の加速度センサ出力を入力する演算によって並進1自由度、回転2自由度、及び捻り1自由度の運動モードを抽出する。運動モード分配回路17は、運動モード抽出回路16の出力に対して適切な補償を施した補償信号出力に対して運動モード抽出回路16の出力を負帰還してなる運動モード駆動信号を入力とした演算によって4箇所の空気ばねへの駆動力を生成する。

請求項（抜粋）：

位置センサと、加速度センサと、空気ばねと、前記空気ばねの内圧を制御するサーボバルブとを有する空気ばね式支持脚が平板状除振台の4隅に配置された鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置であって、前記空気ばね式支持脚4台毎の独立のフィードバック装置を有する鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置において、4箇所の位置偏差信号を入力とする演算によって並進1自由度、回転2自由度、及び捻り1自由度の運動モードを抽出する、位置に関する4自由度の運動モード抽出回路と、4箇所の加速度センサ出力を入力とする演算によって並進1自由度、回転2自由度、及び捻り1自由度の運動モードを抽出する、加速度に関する4自由度の運動モード抽出回路と、前記位置に関する4自由度の運動モード抽出回路の出力に対して適切な補償を施した補償信号出力に対して前記加速度に関する4自由度の運動モード抽出回路の出力を負帰還してなる運動モード駆動信号を入力とした演算によって4箇所の空気ばねへの駆動力を生成する4自由度の運動モード分配回路とが、空気ばね式支持脚4台毎の前記独立のフィードバック装置に挿入されていることを特徴とする鉛直方向空気ばね式除振台の制御装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  E04H 9/02 331 ,  F16F 15/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-333110
  
• 特開昭64-069839
  
• 特開平1-247839