特許
J-GLOBAL ID：200903001025459689

位置検出装置

発明者：
長沼 義広

長沼 義広 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-222433
公開番号（公開出願番号）：特開2003-035510
出願日： 2001年07月24日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：
【要約】【課題】 被検物の面の反射率が場所により変動する場合でも被検物の面位置を正確に検出する。【解決手段】 顕微鏡装置1は、LD3と、ピンホール9aを有する光絞り部材9と、光絞り部材9から出射した光によりピンホール9aの像を被検物17の面上に投影し、被検物17の面からの戻り光を光絞り部材9に投影する共焦点光学系7と、戻り光のうちピンホール9aを通った光の光量を検出する第1光量センサ11と、戻り光の光量を検出する第2光量センサ13と、第2光量センサ13の検出値が所定値になるようにLD3の光の光量を制御する光量コントローラ15と、第1光量センサ11により検出されたピーク値に基づいて被検物17の面位置を検出する面位置検出装置19とを有して構成する。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源からの光を通すピンホールと、前記ピンホールを有する光絞り部材と、前記光源から出射した光を被検査面上に投影し、前記被検査面からの戻り光を前記光絞り部材に投影する共焦点光学系と、前記戻り光のうち前記ピンホールを通った光の光量を検出する第1光量検出手段と、前記戻り光の光量を検出する第2光量検出手段と、前記第2光量検出手段により検出される検出値が所定値になるように前記光源からの光の光量を制御する制御手段と、前記第1光量検出手段により検出された検出値のピーク値に基づいて前記被検査面の位置を検出する面位置検出手段とを有することを特徴とする位置検出装置。
IPC (3件)：
G01B 11/00 ,  G02B 7/28 ,  G02B 21/00
FI (4件)：
G01B 11/00 B ,  G02B 21/00 ,  G02B 7/11 N ,  G02B 7/11 J
Fターム (43件)：
2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA07 ,  2F065AA24 ,  2F065BB05 ,  2F065DD04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF67 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH10 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL00 ,  2F065LL20 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM02 ,  2F065NN02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ26 ,  2F065UU07 ,  2H051AA11 ,  2H051BA53 ,  2H051BA70 ,  2H051CB02 ,  2H051CB06 ,  2H051CB11 ,  2H051CB14 ,  2H051CB29 ,  2H051CC03 ,  2H051CC10 ,  2H052AA08 ,  2H052AB14 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC28 ,  2H052AC34 ,  2H052AD09 ,  2H052AD19
引用特許：
審査官引用 (3件)

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