焦点検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307564
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145311
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】測定面の反射率に影響されることなく、焦点検出を安定に行なえる焦点検出装置を提供する。【解決手段】光射出手段102の前方には可変NDフィルター104が配置されており、これを回転させるフィルター駆動モーター136を制御する制御処理系134は、受光センサー130への入射光量が所定値より大きいときは可変NDフィルター104を透過率の低い方へ回転させ、反対に所定値より小さいときは可変NDフィルター104を透過率の高い方へ回転させる。この所定値は、受光素子122と126の出力のピークがサチレーションを起こさない範囲で大きくなるように選ばれる。この制御によりビームスプリッター116を通過する光の量は常に一定となり、受光素子120と126の出力のピークは測定面114の反射率に影響されることなく一定になる。

請求項（抜粋）：

検出光を射出する光射出手段と、光射出手段からの検出光を測定面に集光すると共にその反射光を取り込み集束光として出力する対物光学系と、対物光学系からの集束光を第一と第二の光束に分離する分離光学手段と、第一の光束の焦点の手前に配置された第一の絞りと、第一の絞りの後ろに配置された第一の受光素子と、第二の光束の焦点の後方に配置された第二の絞りと、第二の絞りの後ろに配置された第二の受光素子と、二つの受光素子の出力に基づいて検出光の焦点と測定面の位置のずれに対応した変位信号を得る信号処理手段とを備えている焦点検出装置において、測定面の反射率を検知する検知手段と、検知手段からの情報に基づいて対物光学系に入射する検出光の光量を調節する調整手段とを備えていることを特徴とする焦点検出装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

立体形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-235239 出願人：興和株式会社
特開平4-171510

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