特許
J-GLOBAL ID:200903001048643797
ホウ酸分析方法及び分析装置と超純水製造方法及び製造装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-108043
公開番号(公開出願番号):特開2003-302389
出願日: 2002年04月10日
公開日(公表日): 2003年10月24日
要約:
【要約】【課題】 超純水のような極微量のホウ酸を含む水中のホウ酸を、簡易にかつ精度良く、オンサイト分析する。このホウ酸分析手法を利用して陰イオン交換塔からのホウ酸の漏洩を監視することにより高純度の超純水を製造する。【解決手段】 ホウ酸と錯体形成可能な錯形成性化合物を含有する溶液を、吸着カラム20A,20Bに流して該錯形成性化合物を吸着させた後、分析対象水をこのカラムに流してホウ酸錯体を形成させ、次いで、脱離液を流し、脱離液中のホウ酸錯体を定量分析するホウ酸分析方法及び装置。陰イオン交換樹脂を充填したイオン交換塔に被処理水を通水して脱イオン処理することにより超純水を製造するにあたり、この方法で脱イオン水中のホウ酸濃度を求め、この結果に基いて、イオン交換塔からのホウ酸の漏洩を監視する超純水製造方法及び装置。
請求項(抜粋):
水中のホウ酸を定量するホウ酸分析方法であって、ホウ酸と錯体形成可能な錯形成性化合物を含有する溶液を、該錯形成性化合物を吸着可能な吸着体に接触させて該錯形成性化合物を該吸着体に吸着させた後、分析対象水を該錯形成性化合物を吸着した吸着体に接触させ、次いで、該錯形成性化合物を該吸着体から脱離させるための脱離液を該分析対象水と接触した後の吸着体に接触させ、その後、該吸着体と接触した後の脱離液中の該錯形成性化合物とホウ酸との錯形成物を定量分析することを特徴とするホウ酸分析方法。
IPC (8件):
G01N 30/00
, C02F 1/00
, C02F 1/42
, G01N 1/00 101
, G01N 1/10
, G01N 21/33
, G01N 21/64
, G01N 33/18
FI (9件):
G01N 30/00 B
, C02F 1/00 V
, C02F 1/42 A
, C02F 1/42 B
, G01N 1/00 101 G
, G01N 1/10 B
, G01N 21/33
, G01N 21/64 Z
, G01N 33/18 Z
Fターム (48件):
2G043AA01
, 2G043BA07
, 2G043CA03
, 2G043DA02
, 2G043DA05
, 2G043EA01
, 2G043EA13
, 2G043GA07
, 2G043GB21
, 2G052AA06
, 2G052AB01
, 2G052AD26
, 2G052AD46
, 2G052CA03
, 2G052CA04
, 2G052CA11
, 2G052EA02
, 2G052ED03
, 2G052GA12
, 2G052GA27
, 2G052JA03
, 2G052JA09
, 2G059AA01
, 2G059BB05
, 2G059CC02
, 2G059DD03
, 2G059DD04
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059EE06
, 2G059EE07
, 2G059FF12
, 2G059HH03
, 2G059HH06
, 2G059MM12
, 4D025AA04
, 4D025AB17
, 4D025AB33
, 4D025BA08
, 4D025BA13
, 4D025BB03
, 4D025BB09
, 4D025BB18
, 4D025CA02
, 4D025DA01
, 4D025DA03
, 4D025DA05
, 4D025DA06
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