特許

J-GLOBAL ID：200903001058608159

超高真空用真空計

発明者： 荒川 一郎 ,  竹内 協子 ,  辻 泰
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 八木田 茂 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194458
公開番号（公開出願番号）：特開平5-133832
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】電離真空計の低圧側の測定限界の要因となっている電子励起脱離イオン、光、軟X線の影響を実質的に除去して気体分子のイオンのみを測定できるようにして10-10 Pa以下の超高真空領域の圧力を正確に測定できるようにする。【構成】気体分子をイオン化するための電子衝撃に伴って生成された圧力測定に実質的に影響を及ぼす電子励起脱離イオン、並びに光及び軟X線の一部を除去するエネルギー分析部5と、エネルギー分析部5を通過してイオン検出器11に入ってくる残りの光及び軟X線の影響を除去するため、電子衝撃に用いる電子をパルス化して気体分子のイオンと光及び軟X線との飛行時間差を利用できるようにさせるパルス電子ビーム源2とを設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電子ビーム源からの電子により気体分子を衝撃してイオンを生成するイオン生成部と、イオン生成部で気体分子のイオンと共に生成された気体分子のイオン以外の電子励起脱離イオンを除去分離するエネルギー分析部と、エネルギー分析部で分離した気体分子のイオンを検出するイオン検出器とから成り、電子ビーム源をパルス電子ビームを発生するパルス電子ビーム源で構成し、イオン生成部で生成された気体分子のイオンと光及び軟X線との飛行時間差により気体分子のイオンのみをイオン検出器で検出できるようにしたことを特徴とする超高真空用真空計。