真空ポンプ装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-006660
公開番号（公開出願番号）：特開2003-206900
出願日： 2002年01月15日
公開日（公表日）： 2003年07月25日
要約：

【要約】【課題】気泡の崩壊に伴う装置内部での騒音を低減すると共に、循環ポンプの停止時にエゼクタ内部で発生する水撃現象をも防止することのできる真空ポンプ装置を得ること。【解決手段】エゼクタ1のディフューザ7をタンク2内に配置して取り付ける。ディフューザ7の末広がり部の下部に大気連通管9を取り付ける。タンク2内の底部に隔壁筒12を取り付ける。隔壁筒12の上部内側にディフューザ7の下部の一部を挿入して配置する。エゼクタ1の吸込室8に吸引された流体は、大気連通管9から吸入された大気と混合する。混合された大気は蒸気泡が押し潰される際の緩衝材になると共に、騒音伝達の緩衝材にもなって、装置外部への騒音を低減する。また、循環ポンプ3の駆動が停止した場合には、エゼクタ1内へ大気連通管9から大気を吸引することにより、水撃現象を発生することがない。

請求項（抜粋）：

エゼクタとタンクと循環ポンプを連通して、タンク内の流体を循環ポンプによってエゼクタへ供給するものにおいて、エゼクタのディフューザ部に大気と連通する大気連通孔を設けたことを特徴とする真空ポンプ装置。

IPC (2件)：

F04F 5/04 , F04F 5/44

FI (2件)：

F04F 5/04 B , F04F 5/44 D

Fターム (7件)：

3H079AA14 , 3H079AA23 , 3H079BB01 , 3H079CC01 , 3H079DD02 , 3H079DD16 , 3H079DD24

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭55-040288
真空ポンプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-084664 出願人：株式会社テイエルブイ
エゼクタ真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-071402 出願人：株式会社テイエルブイ

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審査官引用 (8件)

特開昭55-040288
特開昭55-040288
真空ポンプ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-084664 出願人：株式会社テイエルブイ

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