特許
J-GLOBAL ID：200903001131563720

コロナ放電用電極及び表面処理装置

発明者：
村松 憲一

村松 憲一 について

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高岡 秀嗣

高岡 秀嗣 について

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神戸 和之

神戸 和之 について

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大家 智憲

大家 智憲 について


出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社

浜松ホトニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-190161
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007499
出願日： 2001年06月22日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：
【要約】【課題】 電極と誘電体部材との間に隙間が生じにくく、放電処理時に誘電体部材の一部が飛散しにくいコロナ放電用電極及びそれを用いた表面処理装置を提供する。【解決手段】 このコロナ放電用電極11は、基板16の処理対象面をコロナ放電によって表面処理する表面処理装置1に用いられるものであって、棒状の金属電極11aと、硬質の材料によって形成されており、金属電極11aの長手方向の外周に沿って金属電極11aを被覆する第1の誘電体部材11bと、柔軟性を有する材料を用いて形成されており、金属電極11aと第1の誘電体部材11bとの間の隙間に充填されていて、金属電極11aと第1の誘電体部材11bとの双方に密着している第2の誘電体部材11cとを備えて構成される。
請求項（抜粋）：
基板の処理対象面をコロナ放電によって表面処理する表面処理装置に用いられるコロナ放電用電極であって、棒状の金属電極と、硬質の材料によって構成されており、前記金属電極の長手方向の外周に沿って前記金属電極を被覆する第1の誘電体部材と、柔軟性を有する材料を用いて形成されており、前記金属電極と前記第1の誘電体部材との間の隙間に充填されていて、前記金属電極と前記第1の誘電体部材との双方に密着している第2の誘電体部材とを備えて構成されるコロナ放電用電極。
IPC (7件)：
H05H 1/24 ,  B01J 19/08 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H05H 1/46 ,  H05K 3/42 610 ,  H05K 3/46
FI (8件)：
H05H 1/24 ,  B01J 19/08 G ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H05H 1/46 A ,  H05K 3/42 610 A ,  H05K 3/46 N ,  H05K 3/46 Y
Fターム (36件)：
2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088MA20 ,  2H090HC18 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  4G075AA30 ,  4G075BC10 ,  4G075CA18 ,  4G075CA25 ,  4G075DA02 ,  4G075EB24 ,  4G075EC06 ,  4G075EC21 ,  4G075ED09 ,  4G075ED11 ,  4G075FA12 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06 ,  4G075FB12 ,  4G075FB13 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15 ,  5E317AA24 ,  5E317BB01 ,  5E317BB11 ,  5E317CD01 ,  5E317CD27 ,  5E317GG16 ,  5E346AA43 ,  5E346FF03 ,  5E346GG16 ,  5E346HH31
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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