特許
J-GLOBAL ID：200903001132499286

熱処理用ボ-ト

発明者：
島津 知久

島津 知久 について

, 
中尾 賢

中尾 賢 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-069238
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237781
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 複数の支柱に、各々ほぼ水平に上下に間隔をあけてトレー例えばリング状トレーを配列し、各リング状トレーに半導体ウエハを支持させるように構成した、縦型熱処理装置に用いられる熱処理用ボートにおいて、リング状トレーを溶接に頼らずにボート本体に容易に固定する構造を提供すること。【解決手段】 手前側の1本の支柱23に、上端部から下端部に亘って伸びる切り欠き4を形成すると共に、リング状トレー3の周縁部にも切り欠き6を形成しておく。リング状トレー3の周縁部を各支柱23〜28の溝部20内に挿入し、切り欠き4、6で形成される空間に固定棒5を、天板から底板に亘って通し、リング状トレー3を固定棒5を介して支柱23に係止する。またリング状トレー3の反対側の周縁部に突状部61を設け、リング状トレー3を回転させて突状部61を支柱24に係止する。
請求項（抜粋）：
保持部が上下方向に間隔をおいて形成された複数の支柱に、各々ほぼ水平になるように多数の被処理基板の支持部材を前記保持部により保持させ、被処理基板を夫々前記支持部材に支持させて縦型熱処理炉内に搬入出する熱処理用ボ-トにおいて、前記支持部材に上面から下面に抜けるように形成された切り欠きまたは孔よりなる固定棒挿入部と、前記支柱に保持された上段側の支持部材から下段側の支持部材に亘って前記固定棒挿入部に挿入され、支持部材を係止するための固定棒と、を備えたことを特徴とする熱処理用ボ-ト。
IPC (3件)：
H01L 21/31 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
H01L 21/31 E ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/22 511 B ,  H01L 21/68 V
引用特許：
審査官引用 (4件)
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