特許

J-GLOBAL ID：200903001135684734

磁気抵抗効果膜及びその製造方法

発明者： 近藤 卓
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-038237
公開番号（公開出願番号）：特開平10-241934
出願日： 1997年02月21日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 磁性元素と非磁性元素の組み合わせの高い自由度、更に製造の高再現性のもとで、高い磁場感度を実現する。【解決手段】 本発明の磁気抵抗効果膜10は、磁性層12と非磁性層14とが交互に基板16上に積層された人工格子膜からなる。磁性層12は、多数に分割された島状磁性層121と、これらの島状磁性層121を囲繞する海状非磁性層122とからなる。海状非磁性層122によって基板に垂直方向に細かく分割された島状磁性層121を有することにより、ピンホールによって繋がった磁性層12部分の強磁性相互作用(強磁性配列)が局所化するので、磁性層12全体の反強磁性配列の完全さが得られやすくなる。

請求項（抜粋）：

磁性層と非磁性層とが交互に積層された人工格子膜からなる磁気抵抗効果膜において、前記磁性層の少なくとも一つが、多数に分割された島状磁性層と、これらの島状磁性層を囲繞する海状非磁性層とからなることを特徴とする磁気抵抗効果膜。

IPC (4件)：

H01F 10/08 ,  G11B 5/39 ,  H01F 41/18 ,  H01L 43/08

FI (4件)：

H01F 10/08 ,  G11B 5/39 ,  H01F 41/18 ,  H01L 43/08 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 粒状多層磁気抵抗センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-073496   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション