特許
J-GLOBAL ID：200903001138742964

静電型アクチュエータ及びインクジェットヘッド

発明者：
向山 恵一

向山 恵一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189033
公開番号（公開出願番号）：特開2001-010052
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】 接触帯電の起こりにくい対向電極を備えた静電駆動型のインクジェットヘッドを提案すること。【解決手段】 静電駆動型のインクジェットヘッド1は、各インク室6の底面が振動板5として機能し、この振動板5が共通電極とされる。この振動板5に微小なギャップ15を介して対峙している個別電極17のセグメント電極部18はITO膜から形成されており、当該ITO膜の表面に電極間のギャップより小さい凸部を複数持っている。かかるITO膜からなるセグメント電極部18を用いると、対向電極表面の接触帯電を低減できるので、長期に亘り、印字品位が高く信頼性のあるインクジェットヘッドを実現できる。
請求項（抜粋）：
一定の間隔で対向配置された相対変位可能な第1および第2の電極部材と、これらの電極部材の間に静電気力を発生させて当該電極部材を相対変位させる駆動手段とを有する静電型アクチュエータにおいて、前記第1の電極部材はITO膜から形成されており、当該ITO膜において、前記第2の電極部材に対向している面の表面に、第1と第2のギャップより小さい凸部を複数持つことを特徴とする静電型アクチュエータ。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H02N 1/00
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  H02N 1/00
Fターム (10件)：
2C057AF25 ,  2C057AF28 ,  2C057AF43 ,  2C057AF93 ,  2C057AG54 ,  2C057AP02 ,  2C057AP11 ,  2C057AP52 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15
引用特許：
審査官引用 (4件)
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