特許

J-GLOBAL ID：200903001146808494

基板搬送装置および基板搬送方法

発明者： 赤羽 至
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (2件)： 上田 邦生 ,  藤田 考晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-189793
公開番号（公開出願番号）：特開2009-023804
出願日： 2007年07月20日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：

【課題】装置を大型化することなく、基板の姿勢を維持して基板の搬送距離を長くすること。【解決手段】基板搬送装置1は、基板10を浮上させるエア浮上ステージ3と、エア浮上ステージ3により浮上させられた状態の基板10を保持する基板保持機構と、基板保持機構を搬送方向に移動させる基板搬送機構7と、基板保持機構と基板搬送機構7を制御する制御部とを備え、該制御部は、基板搬送機構7の搬送方向のストロークエンド近傍において、基板保持機構による基板10の保持を解除して、基板保持機構をストロークエンドから離れる方向に戻し、戻した位置で再度基板保持機構に基板10を保持させて、再び基板搬送機構7を駆動させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を浮上させる浮上手段と、 該浮上手段により浮上させられた状態の前記基板を保持する保持手段と、 該保持手段を搬送方向に移動させる駆動手段と、 前記保持手段と前記駆動手段を制御する制御手段とを備え、 該制御手段は、前記駆動手段の搬送方向のストロークエンド近傍において、前記保持手段による前記基板の保持を解除して、前記保持手段をストロークエンドから離れる方向に戻し、戻した位置で再度前記保持手段に前記基板を保持させて、再び前記駆動手段を駆動させる基板搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 51/03 ,  B65G 49/06 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B65G51/03 C ,  B65G49/06 Z ,  H01L21/68 F

Fターム (7件)：

5F031CA05 ,  5F031GA24 ,  5F031GA62 ,  5F031JA01 ,  5F031KA10 ,  5F031KA18 ,  5F031PA02

引用特許：

出願人引用 (3件)

• フラットパネル検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-180559   出願人：エヌティエヌ株式会社
• 薄板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-385118   出願人：石川島播磨重工業株式会社
• 基板浮上装置
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2004006000   出願人：オリンパス株式会社

審査官引用 (2件)

• 基板浮上装置
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP2004006000   出願人：オリンパス株式会社
• フラットパネル検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-180559   出願人：エヌティエヌ株式会社