特許
J-GLOBAL ID：200903001192279064
薄板収納・輸送容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工藤 宣幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098420
公開番号（公開出願番号）：特開2000-289795
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：
【要約】【課題】 使用効率を上げて資源の無駄使いを防ぎ、廃棄物の発生防止、コスト低減を図る。【解決手段】 シリコンウエハ等を収納支持する容器本体2を備えて構成された薄板収納・輸送容器である。容器本体2に蓋体受け部21を設けた。この蓋体受け部21に、種々の蓋体を係止する係止手段を設けた。この係止手段は、第1方式の蓋体31に設けられた第1係止爪32に嵌合する第1係止爪嵌合孔22と、第2方式の蓋体41に設けられたマグネット42に吸着するマグネット25と、第3方式の蓋体51に設けられたシール材52に当接してシールし、真空引きされた内部を負圧に保つシール溝26とを備えて構成した。輸送、製造工程、保管等での専用蓋体を各工程で取り付けて、単一の容器本体2を複数の工程で使用できるようにした。
請求項（抜粋）：
内部が清浄に保たれた状態で多数枚の薄板を収納支持する容器本体を備えて構成された薄板収納・輸送容器において、上記容器本体に、自己の載置位置を正確に調整する位置決め手段を設けると共に、蓋体が取り付けられる蓋体受け部を設け、この蓋体受け部に、取り付け方式の異なる各種の蓋体を係止する係止手段を設けたことを特徴とする薄板収納・輸送容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65D 85/38 R
, H01L 21/68 V
3E096AA06
, 3E096BA16
, 3E096BA20
, 3E096BB03
, 3E096CA02
, 3E096CB03
, 3E096DA01
, 3E096DA17
, 3E096DB06
, 3E096FA15
, 3E096GA07
, 5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA08
, 5F031EA12
, 5F031FA01
