特許
J-GLOBAL ID：200903001209381828
テープ拡張装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-106279
公開番号（公開出願番号）：特開2005-294470
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】 分割予定ラインに沿って強度が低下して形成されたウエーハを、分割予定ラインに沿って効率良く且つ確実に分割することができるテープ拡張装置を提供する。【解決手段】 環状のフレームに装着され複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域を有するウエーハが貼着された保持テープを拡張するテープ拡張装置であって、環状のフレームを保持するフレーム保持手段と、フレーム保持手段に保持された環状のフレームに装着された保持テープにおける環状のフレームの内周とウエーハとの間の領域を挟持する複数個のテープ挟持手段と、複数個のテープ挟持手段を径方向に移動せしめるテープ拡張手段とを具備している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
環状のフレームに装着され複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域を有するウエーハが貼着された保持テープを拡張するテープ拡張装置において、
該環状のフレームを保持するフレーム保持手段と、
該フレーム保持手段に保持された該環状のフレームに装着された該保持テープにおける該環状のフレームの内周と該ウエーハとの間の領域を挟持する複数のテープ挟持手段と、
該複数のテープ挟持手段を径方向に移動せしめるテープ拡張手段と、を具備している、
ことを特徴とするテープ拡張装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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