走査型レーザ顕微鏡装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-348803
公開番号（公開出願番号）：特開平7-199075
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】【目的】Indo-1観察と、可視光による透過観察を同時に行え、測光側では試料から反射してくる可視光の影響のない正確な測光が可能で、透過観察側では、可視光にのみ対応させた安価な検出系を持つ走査型レーザ顕微鏡装置を得ることにある。【構成】概略少なくとも351nm と515nm のレーザビームを出射し試料10に照射するレーザ光源手段01〜09と、試料10により反射されるレーザビームを分離し、各々を測光用光路上に配置された複数のフォトマルチプライヤ20,26 に導く測光分離手段04〜09、集光レンズ16、ダイクロイックミラー17、吸収フィルター18、共焦点ピンホール19、反射ミラー22、吸収フィルター24、共焦点ピンホール25からなるものと、フォトマルチプライヤ26への透過観察用可視光の入射を防ぐダイクロイックフィルター23とで構成され、透過観察光学系及び透過検出系を具備したもの。

請求項（抜粋）：

少なくとも351nmと515nmの波長のレーザビームを出射し試料に照射するレーザ光源手段と、前記試料により反射されるレーザビームを分離し、各々を測光用光路上に配置された複数のフォトマルチプライヤに導く測光分離手段と、前記フォトマルチプライヤへの透過観察用可視光の入射を防ぐ光学手段と、を備え、透過観察光学系及び透過検出系を具備したことを特徴とする走査型レーザ顕微鏡装置。

IPC (5件)：

G02B 21/00 , G01N 21/27 , G01N 21/64 , G02B 21/06 , G02B 26/10

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-340515
走査型光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-177595 出願人：株式会社ニコン
特開平2-028542

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審査官引用 (1件)

特開平4-340515

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