特許

J-GLOBAL ID：200903001266048663

干渉計装置

発明者： 野崎 昭俊 ,  夏野 靖幸 ,  八木 克哉
出願人/特許権者： コニカミノルタホールディングス株式会社
代理人 (3件)： 福田 充広 ,  大石 治仁 ,  藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-205689
公開番号（公開出願番号）：特開2004-045326
出願日： 2002年07月15日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】測定対象の被検面のみからの反射光を分離して正確な計測を可能にする干渉計装置を提供すること。【解決手段】レーザドライバ21、22が半導体レーザ12a、12bから発生させる検査光のコヒーレンス長を調整するので、コヒーレンス長を所定範囲内に短くした場合、参照平面ミラー16側の光路に近い光路を有する面のみに関して干渉縞を形成することができる。よって、目標とする被検レンズMLの透過光学特性のみに絞って干渉像の観察・計測を行うことができ【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

検査光を発生する半導体レーザを有する光源装置と、 前記光源装置からの検査光を参照光と被検光とに分割して参照面及び被検対象に入射させるとともに、当該参照面で反射された参照光及び当該被検対象を経た被検光を再度合成する光分割合成手段と、 前記半導体レーザから発生させる検査光のコヒーレンス長を調整するコヒーレンス調整手段と を備える干渉計装置。

IPC (3件)：

G01B9/02 ,  G01M11/00 ,  G01M11/02

FI (3件)：

G01B9/02 ,  G01M11/00 L ,  G01M11/02 B

Fターム (20件)：

2F064BB04 ,  2F064CC01 ,  2F064EE02 ,  2F064FF02 ,  2F064FF05 ,  2F064FF06 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG38 ,  2F064GG42 ,  2F064GG44 ,  2F064GG52 ,  2F064GG64 ,  2F064GG65 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064KK04 ,  2G086FF01 ,  2G086HH06

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 干渉計測方法および干渉計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-242228   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 研磨方法及びそれを用いた研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-139612   出願人：キヤノン株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Laser diode coherence length variation for balancing fiber optic interferometers